Surmin

新一代超高精度测量平台，采用ANSYS有限元算法对结构重新进行设计并优化分析。 新型材料引进使用，纳米级测量基准，只为提高测量的精确度。 硬件标准进一步提高。从研发设计到选料加工，每个环节都是最严苛的质量标准，只为追求硬件精度的极限。 高精度位置环码器，只为提高系统的响应能力。 全新的测量软件及测量配置，多样化且易于掌控便捷的操作、丰富的接口，交互式有好的人机界面，与控制及传感器系统形成无缝对接，让测量任务变得简单而富有乐趣。 0.65um的示值误差及0.27um的复现性为用户的质检过程提供可靠地数据支持。