精度探至0.5μm微孔，复杂加工一次实现！看牧野新机首展ITES | 方案智选

第27届ITES深圳工业展暨高端装备产业集群展将于2026年3月31-4月3日在深圳国际会展中心启幕。作为华南地区唯一汇聚国内外装备技术品牌及原厂的专业展览，汇聚超1500家参展商集中展示国内外精密制造领域的前沿成果与AI技术的工业级应用。今年，牧野机床将携最新设备与行业解决方案重磅亮相，敬请期待！作为华南地区唯一汇聚国内外装备技术品牌及原厂的专业展览，汇聚超1500家参展商集中展示国内外精密制造领域的前沿成果与AI技术的工业级应用。今年，牧野机床将携最新设备与行业解决方案重磅亮相，敬请期待！

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牧野机床展位号：7-G29

1937年成立的牧野机床是日本最早生产出数控铣床和加工中心的机床制造商。2002年，牧野机床于昆山设厂，作为集团核心电加工机床基地，可研发机床应用软件及定制化产品，提供技术咨询和维修服务；2019年武汉工厂落成，主营立/卧式加工中心，覆盖多领域加工需求，能提供自动化集成等解决方案。

目前，牧野机床已经形成了八大板块的系列产品，服务于模具加工、零部件加工和飞机零件加工等多个应用领域。

锚定喷淋盘微孔加工

在晶圆反应过程中，喷淋头表面密布的微孔、孔道结构以及气体路径、晶圆不同区域的膜层都需保证高度均匀性和一致性，所以对洁净度、耐腐蚀性有极高要求外，对孔径一致性、小孔内壁毛刺都有严苛要求。

数万个微孔的直径偏差需小于±0.5μm，加工过程中的微小振动、刀具磨损或是传统钻削工艺中钻头刚性不足、切削力不均等问题，极易导致孔径出现锥度、扩孔等缺陷，破坏批量一致性；而深径比达20:1 以上的微孔，需解决排屑困难导致的孔壁塌陷。这对特殊工艺、刀具的精准控制以及机床定位精度与重复定位精度都提出极致要求。

图源/富创精密

且在喷淋头内部往往是包含复杂的气体流道和异形曲面，以确保气体在抵达微孔前已实现初步的均压与分配。这需要加工设备能够进行五轴联动空间铣削，进行复杂三维结构的精密加工。

此外，内壁的粗糙度会扰乱喷淋头层流，形成湍流，影响均匀性。尤其是脱落的毛刺微粒落入反应腔后，将直接成为晶圆上的致命缺陷，足以让大量芯片沦为残次品，直接拉低整个生产流程的良率。这对机床的切削技术、振动控制和排屑能力要求极高。

牧野：DA500加工机床

作为DA系列最新成员，牧野DA500在DA300的基础上拓展了工件加工范围，可加工更大体积工件，适配半导体制造设备、航空航天、能源及工业机器人等各类工业设备部件的复杂加工场景。

DA500支持选配车削工作台配置，实现与标准规格一致的铣削能力。因此能在满足行业对复杂立体构型、平滑曲线形状及高表面质量等严苛精度要求的同时，实现高效加工，在一台机床上实现单位时间、单位面积生产性的最大化。该机床能够实现微米级的加工精度，满足高精度零部件的加工需求，可广泛应用于半导体设备、医疗以及汽车零部件等高精度加工要求。

喷淋盘

图源/牧野

• 材料：A6061-T651

• 工件尺寸：Ø420 x 60 mm

• 使用刀具数量：16种16把

喷淋盘共有2000多个直径小于0.5mm的斜孔，加工需要旋转轴摆角度，且保证孔的位置精度，十分考验机床的精度及稳定性。

图源/牧野

DA500采用倾斜立柱结构，立柱可保持高刚性及高速响应。采用更低的工作台单元重心设计，提升主轴加速度，高速移动时也可将振动控制在最小范围。

图源/牧野

喷淋盘加工需协同车削和五轴分度加工。而作为5轴铣床的DA500，可选配车削功能实现工序集中。应用孔加工技术的GI断屑功能，在车削功能下可实现高效切屑断屑功能。

JH5卧式加工中心 

2026年3月31日至4月3日，牧野机床将亮相2026 ITES深圳工业展。届时，JH5卧式加工中心将在首次公开亮相。

作为国产双交换工作台卧式加工中心——JH5延续了牧野设备一贯的核心优势，将“高刚性、高稳定性、高耐用性”三大特质深度融入产品基因，为企业在多品种、快交付的市场竞争中提供核心支撑，助力零部件制造企业从容应对市场快速变化的生产挑战。

JH5适配多种加工场景，既能适用中大批量生产场景、满足零部件供应商的规模化加工需求，也适用于通用工程机械加工领域的复杂零件加工任务。且能大幅缩短工件装卸与设备调整时间，配合高速加工技术，有效打破传统加工瓶颈，实现高速、高效率加工。