
运动控制器以纳米级精度控制,服务半导体、激光加工、高精密机床、工业自动化、医疗设备等领域;其主要特点如下:覆盖宏微动一体/纳米精度/驱控一体/伺服驱动类别;GL+专用脚本可视化编程,设计自由;复杂运动,简单控制;控制频率200kHz,控制带宽可达10kHz;同步精度优于10ns,定位精度0.5nm。

主动减振器以VC-G级稳定“镇”出半导体产业良率新高度,同时可服务光学、生命科学、航空航天、显示面板、激光加工等精密制造和科研领域。产品分为钢弹簧/气浮/磁浮/压电/复合/真空类别;主动减振带宽低至0.5Hz;振动传递率-50dB@10Hz;单方向推力>2kN;整定时间<100ms

关节模组产品以高集成度紧凑拓扑优化、高效率低扭矩波动自研电机、超30Nm/kg额定扭矩密度服务于人形、协作、SCARA、四足等多种机型