3D微纳光学形貌检测Optic Nano Plus

3D微纳光学形貌仪产品系列按功能分为三维干涉光学轮廓仪、超景深光学显微镜、复合式三维测量显微镜三个产品。是一款高精度多元化测量方案，具有纳米级到毫米级精度，可满足各种高精度、高性能和高稳定性测量的需求。实现对粗糙度与波度测量、形状与轮廓测量、薄膜厚度测量、微观尺寸测量、临界尺寸测量、 颗粒尺寸与分布测量、光学特性测量、折射率测量、透过率与反射率测量等的多范围测量。